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传感器实验讲义尤 源 编盐城师范学院物理科学与电子技术学院目录CSY2001/2001B型传感器系统综合实验台使用说明2实验一金属箔式应变计性能——应变电桥5实验二双孔应变传感器——称重实验7实验三 半导体应变计性能9实验四半导体应变计直流半桥测试10实验五 移相器实验11实验六 相敏检波器实验13实验七MPX扩散硅压阻式传感器15实验八电感传感器——差动螺管式传感器位移测量16实验九光电传感器——光敏电阻实验18实验十光电传感器——光电开关（红外发光管与光敏三极管）19实验十一光电传感器——热释电红外传感器20实验十二PSD光电位置传感器实验21实验十三 光纤传感器——位移测量23实验十四 霍尔式传感器——直流激励特性25实验十五 电涡流传感器—静态标定…………………………………………26实验十六电涡流传感器——测转速实验………………………………..…..27实验十七湿敏传感器——湿敏电容实验28实验十八湿敏传感器——湿敏电阻实验30实验__气敏传感器演示实验31实验台简介CSY2001/2001B型实验台分主机与实验模块二部分2001B型主机:装有磁电、压电加速度、半导体应变、金属箔式应变、衍射光栅等传感器__源、温控电加热器、显示仪表、电动气压源、数据采集及通信接口性能均与2001型相同分别__在十余个实验模块面板上__种传感器与2001型主机工作台上__的传感器性能相同，其中电感、电容、霍尔、光纤、电涡流等传感器可在模块上做静态位移实验，也可__在主机的振动台上做动态性能测试2001B型主机与实验模块的连接线采用了高可靠性的防脱落插座及插头实验连接线均用灯笼状的插头及配套的插座，接触可靠，防旋防松脱，并可在使用日久断线后重新修复CSY2001/2001B型传感器实验台传感器性能、参数指标气敏传感器（MO3），对酒精敏感，测量范围10-2000ppm灵敏度RO/R5电容式传感器2001型:平行变__差动式电容，线性范围≥3mm2001B型:圆筒变__差动式电容线性范围≥3mm热释电红外传感器光谱范围7~15μm光频响应
0.5~10HZ光电传感器红外发光管、光敏三极管及施密特整形电路组成的光断续器光电阻半导体材料制成的光敏传感器，阻值范围10MΩ~nKΩ集成温度传感器电流型集成温度传感器，测量范围-55-200℃热电偶标准热电偶镍铬—镍硅（K分度），温控热电偶镍铬—铜镍（E分度）半导体热敏电阻MF51，负温度系数，测温范围-50-300℃铂热电阻Pt100测温范围≤650℃PN结温敏二极管测温范围-40-150℃，精度1%光纤位移传感器双支Y型导光型光纤传感器，线性范围
1.5mm电涡流传感器量程0-3mm由扁平线圈和多种金属涡流片组成磁电传感器灵敏度
0.4V/m/S，动铁与线圈组成霍尔传感器梯度磁场与锑化铟线性霍尔元件组成，测量范围+
2.5mm压电加速度传感器PZT双压电晶片、质量块及压簧组成，频响5Hz湿敏电容测量范围0-99%RH，线性度+2%湿敏电阻测量范围0-99%RH，阻值范围10MΩ-nkΩ差动变动器一组初级线圈、两组次级线圈及软磁铁心组成，测量范围+5mm称重传感器商用双孔悬臂梁结构，称重范围≤500克，精度1%半导体应变计BY型，灵敏系数120金属箔式应变计（贴于双平行悬臂梁上）BHF环氧基底防蠕变，工作片×4，温度补偿片×2，灵敏度系数
2.06压阻式传感器MPX压阻式差压传感器量程0-50KP，精度1%光栅莫尔条纹位移传感器:测试精度1%mm（仅2001B型有）CCD图象传感器光敏面尺寸1/3英寸工作电压12V实验操作须知
1、使用本仪器前，请先熟悉仪器的基本状况，对各传感器激励__的大小、__源、显示仪表、位移及振动机构的工作范围做到心中有数
2、了解测试系统的基本组成合适的__激励源→传感器→处理电路（传感器状态调节机构）→仪表显示（数据采集或图象显示）
3、实验操作时，在用实验连接线接好各系统并确认无误后方可打开电源，各__源之间严禁用连接线短路，2001型主机与模块的电源连接线插头与插座连接时尤要注意标志端对准后插入，如开机后发现__灯、数字表有异常状况，应立即关机，查清原因后再进行实验
4、实验连接线插头为灯笼状__结构，插入插孔即能保证接触良好，不须旋转锁紧，为延长使用寿命，请捏住插头连接
5、实验指导中的“注意事项”不可忽略传感器的激励__不准随意加大，否则会造成传感器永久性的损坏
6、本实验仪为教学实验用仪器，而非测量用仪器，各传感器在其工作范围内有一定的线性和精度，但不能保证在整个__变化范围都是呈线性变化限于实验条件，有些实验只能做为定性演示（如湿敏、气敏传感器），能完成实验指导书中的实验内容，则整台仪器正常
7、本仪器的工作环境温度≤40℃，需防尘
8、实验指导书中凡{}内均为CSY2001B型特有的内容实验一金属箔式应变计性能——应变电桥实验目的
1、观察了解箔式应变片的结构及粘贴方式
2、测试应变梁变形的应变输出
3、比较各桥路间的输出关系实验原理本实验说明箔式应变片及直流电桥的原理和工作情况应变片是最常用的测力传感元件当用应变片测试时，应变片要牢固地粘贴在测试体表面，测件受力发生形变，应变片的敏感栅随同变形，其电阻值也随之发生相应的变化通过测量电路，转换成电__输出显示电桥电路是最常用的非电量电测电路中的一种，当电桥平衡时，桥路对臂电阻乘积相等，电桥输出为零，在桥臂四个电阻R
1、R
2、R
3、R4中，电阻的相对变化率分别为△R1/R
1、△R2/R
2、△R3/R
3、△R4/R4，当使用一个应变片时，；当二个应变片组成差动状态工作，则有；用四个应变片组成二个差动对工作，且R1=R2=R3=R4=R，实验所需部件括号{}内为2001B型内容直流稳压电源+4V、公共电路模块
（一）{公共电路模块}、贴于主机工作台悬臂梁上的箔式应变计、螺旋测微仪、数字电压表实验步骤
1、连接主机与模块电路电源连接线，差动放大器增益置于最大位置（顺时针方向旋到底），差动放大器“+”“—”输入端对地用实验线短路输出端接电压表2V档开启主机电源，用调零电位器调整差动放大器输出电压为零，然后拔掉实验线，调零后模块上的“增益、调零”电位器均不应再变动（图1）
2、观察贴于悬臂梁根部的应变计的位置与方向，按图
（1）将所需实验部件连接成测试桥路，图中R
1、R
2、R3分别为固定标准电阻，R为应变计（可任选上梁或下梁中的一个工作片），图中每两个节之间可理解为一根实验连接线，注意连接方式，勿使直流激励电源短路将螺旋测微仪装于应变悬臂梁前端永久磁钢上，并调节测微仪使悬臂梁基本处于水平位置
3、确认接线无误后开启主机，并预热数分钟，使电路工作趋于稳定调节模块上的WD电位器，使桥路输出为零
4、用螺旋测微仪带动悬臂梁分别向上和向下位移各5mm每位移1mm记录一个输出电压值，并记入下表位移mm电压V根据表中所测数据在坐标图上做出V—X曲线，计算灵敏度S S=注意事项
1、实验前应检查实验连接线是否完好，学会正确插拔连接线，这是顺利完成实验的基本保证
2、由于悬臂梁弹性恢复的滞后及应变片本身的机械滞后，所以当螺旋测微仪回到初始位置后桥路电压输出值并不能马上回到零，此时可一次或几次将螺旋测微仪反方向旋动一个较大位移，使电压值回到零后再进行反向采集实验
3、实验中实验者用螺旋测微仪进行位移后应将手离开仪器后方能读取测试系统输出电压数，否则虽然没有改变刻度值也会造成微小位移或人体感应使电压__出现偏差
4、因为是小__测试，所以调零后电压表应置2V档，用计算机数据采集时应选用200mv量程实验二双孔应变传感器——称重实验实验目的
1、掌握电桥电路的应用；
2、测试重量与双孔应变传感器产生的电压关系实验原理本实验选用的是标准商用双孔悬臂梁式称重传感器，四个特性相同的应变片贴在如图所示位置，弹性体的结构决定了R1和R
3、R2和R4的受力方向分别相同，因此将它们串接就形成差动电桥当弹性体受力时，根据电桥的加减特性其输出电压为实验所需部件直流稳压电源、双孔悬臂梁称重传感器、公共电路模块
（一）{公共电路模块}，称重砝码（20克/个）、数字电压表（图2）实验步骤
1、观察称重传感器弹性体结构及贴片位置，连接主机与实验模块的电源连接线，开启主机电源，调节放大器调零电位器使无负载时的称重传感器输出为零
2、接好传感器测试系统线路，称重传感器工作电压选用+4V，差动放大器增益为最大（100倍），输出端接电压表调节电桥WD调零电位器使无负载时的称重传感器输出为零
3、逐步将砝码放上称重平台，调节增益电位器，使V0端输出电压与所称重量成一比例关系，记录W（克）与V（mv）的对应值，并填入下表W克V（mv）
4、记录W与V值，并做出W-V曲线，进行灵敏度、线性度与重复性的比较
5、与双平行悬臂梁组成的全桥进行性能比较注意事项称重传感器的激励电压请勿随意提高注意保护传感器的引线及应变片使之不受损伤实验三半导体应变计性能实验原理半导体应变计主要是根据硅半导体材料的压阻效应制成，当半导体晶体受到作用力时，晶体除产生应变外，电阻率也会发生变化与金属应变片相比，半导体应变计灵敏系数很高，可达100~200，但是在稳定性及重复性方面都不如金属箔式片实际使用时都是采用全桥工作形式实验所需部件贴于双平行悬臂梁上的半导体应变计（一片）、直流稳压电源（2V）、公共电路模块
（一）{公共电路模块}、电压表、应变加热器、温度计（自备）（图4）实验步骤
1、按图
（4）将应变计接入差动放大器、电桥、电压表、注意直流激励输出电压为2V，以免因为电压过高引起半导体应变计自热
2、连接主机与公共电路模块的电源并开启，调节电桥WD电位器，使系统输出为零，此时差动放大器增益可置最大电压表可先置20V档
3、用手提、压平行悬臂梁上下各约5mm观察电路输出电压变化范围、应变梁弹性恢复及重复性情况
4、打开“应变加热”开关，记录半导体单臂电桥的温飘情况（此时电压表应放20V档）注意事项由于半导体应变计非常灵敏，当环境温度有微小变化时都会引起电桥电路输出电压变化随着加热温度的改变，半导体单臂电桥系统输出电压要有一个相当长的时间才能基本稳定实验四半导体应变计直流半桥测试实验目的了解实际运用的半导体应变电桥的运用实验所需部件半导体应变计（二片）、直流稳压电源（2V）、公共电路模块
（一）{公共电路模块}、螺旋测微仪、电压表（图5）实验步骤
1、在实验五的基础上按图
（5）将固定电阻换成二片应变片，组成半导体半桥
2、用螺旋测微仪将悬臂梁调至水平，激励电压接2V
3、打开主机电源，调整电桥中WD电位器使电路输出为零
4、按实验一步骤3-4进行操作，测出V-X值，画出V-X曲线，计算出灵敏度
5、比较半导体应变计接成半桥后与单臂电桥的稳定性注意事项由于半导体半桥灵敏度高，输出__较大，必要时可适当减小差动放大器增益实验五移相器实验实验目的说明由运算放大器构成的移相电路的工作原理实验原理图
（6）为移相器电路示意图（图6）由图可求得该电路的闭环增益G（S）则当R1=R2=R3=R4=R5=10K时有由正切三角函数半角公式可得ω＞时，输出相位滞后于输入，当ω＜时，输出相位超前输入实验所需部件公共电路模块
（二）{公共电路模块}（移相器、相敏检波器、低通滤波器）、音频__源、双线示波器实验步骤
1、连接主机与实验模块电源线，音频__源频率幅值旋钮居中，__输出端连接移相器输入端
2、打开主机电源，双线示波器两探头分别接移相器输入与输出端，调整示波器，观察两路波形
3、调节移相器“移相”电位器，观察两路波形相应变化
4、改变音频__源频率，观察频率不同时移相器移相范围的变化
5、对照移相器电路图分析其工作原理注意事项因为实验仪的音频__是由函数发生器产生，不是纯正弦__，所以通过移相器后波形局部有失真，这并非仪器故障正确选择双线示波器的“触发”方式及其它设置，以保证能看到移相波形的变化实验六相敏检波器实验实验目的说明由施密特开关电路及运放组成的相敏检波器电路的原理实验原理相敏检波电路如图
（7）所示图中
①为输入__端，
②为交流参考电压输入端，
③为检波__输出端，
④为直流参考电压输入端当
②、
④端输入控制电压__时，通过差动电路的作用使D和J处于开或关的状态，从而把
①端输入的正弦__转换成全波整流__（图7）实验所需部件公共电路模块
（二）{公共电路模块}（相敏检波器、移相器、低通滤波器）、音频__源、直流稳压电源、电压表、示波器实验步骤
1、连接主机与实验模块电源线，音频__输出接相敏检波输入端
①
2、直流稳压电源2V档输出（正或负均可）接相敏检波器
④端
3、示波器两通道分别接相敏输入、输出端，观察输入、输出波形的相位关系和幅值关系
4、改变
④端参考电压的极性，观察输入、输出波形的相位和幅值关系由此可以得出结论当参考电压为正时，输入与输出同相，当参考电压为负时，输入与输出反相
5、将音频振荡器00端输出__送入移相器输入端，移相器的输出与相敏检波器的参考输入端
②连接，相敏检波器的__输入端
①接音频00输出
6、用示波器两通道观察附加观察插口
⑤、
⑥的波形可以看出，相敏检波器中整形电路的作用是将输入的正弦波转换成方波，使相敏检波器中的电子开关能正常工作
7、将相敏检波器的输出端与低通滤波器的输入端连接，低通输出端接数字电压表20V档
8、示波器两通道分别接相敏检波器输入、输出端
9、适当调节音频振荡器幅值旋钮和移相器“移相”旋钮，观察示波器中波形变化和电压表电压值变化，然后将相敏检波器的输入端
①改接至音频振荡器1800输出端口，观察示波器和电压表的变化由上可以看出，当相敏检波器的输入__与开关__同相时，输出为正极性的全波整流__，电压表指示正极性方向最大值，反之，则输出负极性的全波整流波形，电压表指示负极性的最大值
10、调节移相器“移相”旋钮，利用示波器和电压表，测出相敏检波器的输入Vp-p值与输出直流电压的关系
11、使输入__与参考__的相位改变1800，得出实验结果注意事项相敏检波器实验插口端的序数从左至右，从上至下为
①—
⑥号实验七MPX扩散硅压阻式传感器实验原理MPX压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X型的等值电阻组成的电路，它用激光修正，温度补偿，所以线性好，灵敏度高，重复性好，其工作原理及实验接线如图
（9）（图9）本实验中所用的压阻式传感器为差压式，无外加压力时电路平衡无输出，受压时则输出与压力大小成正比的电压__实验所需部件MPX压力传感器，公共电路模块
（一）、{应变式传感器实验模块}、气压源、胶管、电压表实验步骤
1、连接主机与实验模块的电源线及探头连接线，胶管连接气源输出与压力传感器输入口（传感器另一接口__大气压力）差动放大器增益最大
2、开启主机电源，调节电桥WD调平衡电位器，使实验模块输出为零，开启气源开关，逐步加大气压，观察随气压上升模块电压输出的变化情况
3、待到气压相对稳定后，调节模块增益使输出电压值与气压值成一比例关系，并记录P（kp）值与Vmv值
4、关闭气源，随着气压逐步下降，输出电压也发生变化，记录P-V值并填入下表PkpVmv在坐标上作出V-P曲线，验证传感器的线性度与灵敏度
5、气压源因功率限制输出≤20kp，亦可用随机附带的加压气囊代替气源，使传感器工作范围扩大到压力表满量程显示注意事项气源平时应关闭，以免影响其它电路工作，胶管尽量避免油污，以免造成老化破损实验八电感传感器—差动螺管式传感器位移测量实验目的１、了解差动螺管式电感传感器的工作原理２、测取差动螺管式电感传感器的输出特性３、研究激励频率对差动螺管式电感传感器的影响４、熟练掌握用示波器对交流电压峰－峰值的测量实验设备１、传感器实验仪２、二踪示波器实验原理螺管式电感传感器的工作原理是基于线圈磁力线泄漏路径中的磁阻变化差动螺管式电感传感器由电感线圈的二个次级线圈反相串接而成，工作在自感基础上，由于衔铁在线圈中位置的变化使二个线圈的电感量发生变化，包括两个线圈在内组成的电桥电路的输出电压__因而发生相应变化线圈的电感量与衔铁插入线圈的深度有关差动电感器的两个线圈，一般接在交流电桥的两臂，如图６－１所示在初始位置时，即衔铁处在中间位置时，Z1＝Z2，而Z3＝Z4是电桥的固定臂，且在工作过程中，也始终不变因而从理论上看，电桥平衡，V＝０当衔铁偏离中间位置时，两个线圈的电感量（或阻抗）一个增加一个减小，电桥失去平衡，即有电压输出电桥输出电压Ｖ的大小与衔铁位移量成正比其相位与衔铁运动方向有关，若设衔铁向上运动为正，且输出Ｖ为正，则衔铁向下运动，V反相180°，V为负由于Vi是交流电压，所以，输出Ｖ在输入到指示器之前必须先进行相敏检波、滤波实验所需部件差动变压器二组次级线圈、音频__源、公共电路模块
（一）
（二）、{公共电路实验模块}、电感传感器实验模块、电压表、示波器、测微仪（图16）实验步骤１、测取差动螺管式电感传感器的输出特性1连接主机与实验模块电源线，按图
（16）组成测试系统，两个次级线圈必须接成差动状态，差动放大器增益不要太大旋动测微仪使衔铁居中线圈，此时LO′=LO″，系统输出为零当衔铁在线圈中上{左}、下{右}位移时，LO′≠LO″，电桥失衡，输出电压__的大小与衔铁位移量成比例，相位则与衔铁位移方向有关，衔铁向上{左}和向下{右}__时输出波形相差约1800，（可用示波器观察相敏检波器
①、
②端），因此必须经过相敏检波器才能判断电压极性2利用频率表（Ｖ/Ｆ表）和示波器，调整音频振荡器的频率旋钮和幅度旋钮，使其输出（Lv插口）频率为5KHZ，峰－峰值为3V的激励__3按图16接线，组成一个差动电感电桥测量系统4装上测微头，调整衔铁到中间位置方法是断开调平衡网络的w
1、w2电位器，旋动测微头，使系统输出最小，此时衔铁便处于中间位置5将差放增益调至最大利用示波器和电压表，调整各平衡及调零旋钮使电桥平衡，电压表读数为零6转动测微头，分别使衔铁上、下__4mm，每隔
0.5mm记录一组测量数据，并填入表６－１中ＸmmＶ上vＶ下v依此做出V-X曲线，求出灵敏度S，指出线性工作范围7用示波器观察各环节的波形２、研究激励频率对差动螺管式电感传感器的影响1按图６－３接线利用示波器，调整音频振荡器的温度旋钮，使Lv输出插口输出电压的峰－峰值为8V，在实验中始终保持不变2装上测微头，按表６－２要求固定一个音频输出频率f，调整衔铁至中间位置，然后，调整w1，w2电位器使输出最小3用示波器观察差动放大器的输出波形，并描绘下来4转动测微头，使其从7mm移至15mm，在此期间每隔
0.5mm从示波器上读取输出电压峰－峰值，填入表６－２中5改变频率f，重复步骤（２）、（３）、（４），并将测试结果填入表６－２中6实验完毕，经指导教师检查同意后，关闭电源，拆除接线，整理好实验台表６－２XmmVppvfHZ10003000500070009000
五、报告要求１、根据实验数据表６－１，作出差动螺管式电感传感器的输出特性V=fx曲线，并计算出该测量系统的灵敏度２、根据实验数据表６－２，作出各频率下的输出特性V=fx曲线，并计算出灵敏度，作出灵敏度Ｓ与频率f的关系曲线３、简述激励频率对差动螺管式电感传感器的影响４、编写实验心得体会
六、预习内容教材中差动螺管式电感传感器部分
七、注意事项１、此实验只用差动变压器的两个次级线圈，注意接法２、每次改变频率后，应先调好零位，保证电路处于正常工作状态实验九光电传感器——光敏电阻实验实验原理由半导体材料制成的光敏电阻，工作原理基于内光电效应，当掺杂的半导体薄膜表面受到光照时，其导电率就发生变化不同的材料制成的光敏电阻有不同的光谱特性和时间常数由于存在非线性，因此光敏电阻一般用在控制电路中，不适用作测量元件实验所需部件光敏电阻、光电传感器模块
（二）、电压表、示波器（图17）实验步骤（图18）
1、观察光敏电阻，分别将光敏电阻置于光亮和黑暗之处，测得其亮电阻和暗电阻，在给定工作电压下，通过亮电阻和暗电阻的电流为亮电流和暗电流，其差为光敏电阻的光电流光电流越大，灵敏度越高
2、连接主机与实验模块的电源线及传感器接口线，光敏电阻转换电路输出端V0接电压表与示波器
3、开启主机电源，通过改变光敏电阻的光照程度，观察输出电压的变化情况实验电路又是一个暗光亮灯控制电路，可以设定暗光程度，依次试验环境光照不同时光敏电阻控制亮灯的情况实验十光电传感器—光电开关（红外发光管与光敏三极管）实验原理光敏三极管与半导体三极管结构类似，但通常引出线只有二个，当具有光敏特性的PN结受到光照时，形成光电流，不同材料制成的光敏三极管具有不同的光谱特性，光敏三极管较之光敏二极管能将光电流放大（1+hFE）倍，因此具有很高的灵敏度与光敏管相似，不同材料制成的发光二极管也具有不同的光谱特性，由光谱特性相同的发光二极管与光敏三极管组成对管，__成如图
（19）形式，就形成了光电开关（光耦合器或光断续器）（图19）实验所需部件光电开关、测速电机、示波器、电压/频率表、光电传感器实验模块
（一）、{光纤光电传感器实验模块}实验步骤
1、观察光电开关结构传感器是一个透过型的光断续器，工作波长3μm左右，可以用来检测物体的有无，物体运动方向等
2、连接主机与实验模块电源线及传感器接口，示波器接光电输出端
3、开启主机电源，用手转动电机叶片分别挡住与离开传感光路，观察输出端__波形开启电机转速开关，调节转速，观察V0端连续方波__输出，并用电压/频率表2KHz档测转速转速=频率表显示值÷
24、如欲用数据采集卡中的转速采集功能，须将V0输出端__送入整形电路以便得到5VTTL电平输出的__，整形电路输入端为“Vi”输出“F0”此端请接实验仪主机面板上的“转速__入”端口，与内置的数据采集卡中的频率记数端接定实验十一光电传感器——热释电红外传感器实验目的
1、观察热释电红外传感器结构；
2、测试温度变化与电压的关系实验原理热释电红外传感器是一种红外光传感器，属于热电型器件，当热电元件PZT受到光照时能将光能转换为热能，受热的晶体两端产生数量相等符号相反的电荷，如果带上负载就会有电流流过，输出电压__实验所需部件热释电红外传感器、菲涅耳透镜、温控电加热炉、热释电红外传感器实验模块、{温度传感器实验模块}、电压表、示波器（图20）热释电传感器结构及电路原理实验步骤
1、观察传感器探头，探头表面的滤光片使传感器对10μm左右的红外光敏感，可以__在传感器前的菲涅耳透镜是一种特殊的透镜组，每个透镜单元都有一个不大的视场，相邻的两个透镜单元既不连续也不重叠，都相隔一个盲区，它的作用是将透镜前运动的发热体发出的红外光转变成一个又一个断续的红外__，使传感器能正常工作
2、连接主机与实验模块电源线及传感器接口，转换电路输出端接电压表
3、开启主机电源，待传感器稳定后，人体从传感器探头前移过，观察输出__电压变化，再用手放在探头前不动，输出__不会变化，这说明热释电传感器的特点是只有当外界的幅射引起传感器本身的温度变化时才会输出电__，即热释电红外传感器只对变化的温度__敏感，这一特性就决定了它的应用范围
4、将传感器探头对准加热炉方向，开启加热炉并将温度控制在50℃左右，用遮挡物断续探头前面的热源，观察传感器的反应
5、在传感器探头前加装菲涅耳透镜，试验传感器的探测视场和距离，以验证菲涅透镜的功能实验十二PSD光电位置传感器实验实验目的
1、观察PSD光电位置传感器结构；
2、测试位移变化与电压的关系实验原理PSD（Positionsensitivedetector）是一种新型的横向光电效应器件，当入射光点照在光敏面上时由于光生载流子的流动产生光生电流I，经运算后即可知光点的位置（图21）PSD器件工作原理实验所需部件PSD传感器、固体激光器、被测物、位移装置、PSD实验模块、{PSD光电位置传感器实验模块}、电压表、示波器实验步骤
1、观察PSD器件及__位置，激光器置于PSD组件中，调节反射体（被测物）与激光管的位置大约为70~80mm模块输出V0端接电压表及示波器，连接主机与实验模块的电源线及传感器探头
2、开启主电源，连接激光电源，激光束射到被测物体后反射光经透镜聚焦入射PSD光敏面（激光器的光点可以调整，以提高PSD器件的光电流输出），调节位移装置，使光斑位于PSD光敏面中点（通过观察窗口确认），调节模块“增益”旋钮，用示波器观察，输出波形不应有自激，此时模块电路输出为零
3、分别向前和向后位移被测体，每位移
0.1mm记录一电压值，并记入下表XmmV0mv作出V-X曲线，计算灵敏度，分析工作线性
4、用遮挡物盖住观察窗口，使PSD器件不受背景光影响，重新进行位移测试，看结果是否有变化注意事项本实验仪中的固体激光器只能作为实验光源之用，严禁实验者用激光光束照射人的眼睛，否则将会造成视力不可恢复的伤害需注意的是由于背景光的影响及变化，会使多次实验的结果有所不同实验十三光纤传感器——位移测量实验目的
1、观察光纤结构；
2、测试光纤传感器输出电压与位移量的关系实验原理反射式光纤传感器工作原理如图
（22）所示，光纤采用Y型结构，两束多模光纤合并于一端组成光纤探头，一束作为接收，另一束为光源发射，红外二级管发出的红外光经光源光纤照射至被测物，由被测物反射的光__经接收光纤传输至光电转换器件转换为电__，反射光的强弱与反射物与光纤探头的距离成一定的比例关系，通过对光强的检测就可得知位置量的变化（图22）实验所需部件光纤（光电转换器）、光电传感器模块、{光纤光电传感器实验模块}、支架、电压表示波器、螺旋测微仪、反射镜片实验步骤
1、观察光纤结构本实验仪所配的光纤探头为半圆型结构，由数百根导光纤维组成，一半为光源光纤，一半为接收光纤
2、连接主机与实验模块电源线及光纤变换器探头接口，光纤探头装上通用支架（原装电涡流探头），{探头支架}，探头垂直对准反射片__（镀铬圆铁片），螺旋测微仪装上支架，以带动反射镜片位移
3、开启主机电源，光电变换器V0端接电压表，首先旋动测微仪使探头紧贴反射镜片（如两表面不平行可稍许扳动光纤探头角度使两平面吻合），此时V0输出≈0，然后旋动测微仪，使反射镜片离开探头，每隔
0.2mm记录一数值并记入下表Xmm
00.
20.
40.
60.
811.
21.
41.
61.
822.
22.
42.
62.
833.
23.
43.
63.84V位移距离如再加大，就可观察到光纤传感器输出特性曲线的前坡与后坡波形，作出V-X曲线，通常测量用的是线性较好的前坡范围注意事项
1、光纤请勿成锐角曲折，以免造成内部断裂，端面尤要注意保护，否则会光通量衰耗加大造成灵敏度下降
2、每台仪器的光电转换器（包括光纤）与转换电路都是单独调配的，请注意与仪器编号配对使用
3、实验时注意增益调节，输出最大__以3V左右为宜，避免过强的背景光照射实验十四霍尔式传感器——直流激励特性实验目的
1、观察霍尔式传感器结构；
2、研究霍尔式传感器的直流激励特性实验原理霍尔元件是根据霍尔效应原理制成的磁电转换元件，当霍尔元件位于由两个环形磁钢组成的梯度磁场中时就成了霍尔位移传感器霍尔元件通以恒定电流时，就有霍尔电势输出，霍尔电势的大小正比于磁场强度（磁场位置），当所处的磁场方向改变时，霍尔电势的方向也随之改变（图23）实验所需部件霍尔传感器、直流稳压电源（2V）、公共电路模块
（一）、{霍尔传感器实验模块}、电压表、测微仪实验步骤
1、{__好梯度磁场及霍尔传感器}连接主机与实验模块电源及传感器接口，确认霍尔元件直流激励电压为2V，另一激励端接地，实验接线按图
（23）所示，差动放大器增益10倍左右
2、用螺旋测微仪调节振动平台{精密位移装置}使霍尔元件置于梯度磁场中间，并调节电桥直流电位器WD，使输出为零
3、从中点开始，调节螺旋测微仪，上下{左右}__霍尔元件各
3.5mm，每变化
0.5mm读取相应的电压值，并记入下表Xmm0V0mv0作出V-X曲线，求得灵敏度和线性工作范围如出现非线性情况，请查找原因注意事项直流激励电压只能是2V，不能接+2V4V否则锑化铟霍尔元件会烧坏实验十五电涡流传感器—静态标定实验目的
1、观察电涡流传感器的结构；
2、测试电涡流传感器输出频率实验原理电涡流传感器由平面线圈和金属涡流片组成，当线圈中通以高频交变电流后，在与其平行的金属片上感应产生电涡流，电涡流的大小影响线圈的阻抗Z，而涡流的大小与金属涡流片的电阻率，导磁率、厚度、温度以及与线圈的距离X有关，当平面线圈、被测体（涡流片）、激励源确定，并保持环境温度不变，阻抗Z只与距离X有关，将阻抗变化转为电压__V输出，则输出电压是距离X的单值函数实验所需部件电涡流传感器、电涡流传感器实验模块、螺旋测微仪、电压表、示波器（图25）（图25）实验所需部件电涡流传感器、电涡流传感器实验模块、螺旋测微仪、电压表、示波器实验步骤
1、连接主机与实验模块电源及传感器接口，电涡流线圈与涡流片须保持平行，__好测微仪，涡流变换器输出接电压表20V档
2、开启主机电源，用测微仪带动涡流片__，当涡流片完全紧贴线圈时输出电压为零（可适当改变支架中的线圈角度），然后旋动测微仪使涡流片离开线圈，从电压表有读数时每隔
0.2mm记录一个电压值，将V、X数值填入下表，作出V-X曲线，指出线性范围，求出灵敏度Xmm
00.
20.
40.
60.
811.
21.
41.
61.
822.
22.
42.
62.
833.
23.
43.
63.84V0v
3、示波器接电涡流线圈与实验模块输入端口{波形观察口}，观察电涡流传感器的激励__频率，随着线圈与电涡流片距离的变化，__幅度也发生变化，当涡流片紧贴线圈时电路停振，输出为零注意事项模块输入端接入示波器时由于一些示波器的输入阻抗不高（包括探头阻抗）以至影响线圈的阻抗，使输出V0变小，并造成初始位置附近的一段死区，示波器探头不接输入端即可解决这个问题实验十六电涡流传感器——测转速实验实验原理当电涡流线圈与金属被测体的位置周期性地接近—脱离时，电涡流传感器的输出__也转换为相同周期的脉动__实验所需部件电涡流传感器、电涡流传感器实验模块、测速电机、电压/频率表、示波器实验步骤
1、将电涡流支架顺时针旋转约700，__于电机叶片之上，{将电涡流线圈__到振动平台旁的支架上}，线圈尽量靠近叶片，以不碰擦为标准，线圈面与叶片保持平行
2、开启主机电源，调节电机转速，根据示波器波形调整电涡流线圈与电机叶片的相对位置，使波形较为对称
3、仔细观察示波器中两相邻波形的峰值，如有差异则是电机叶片不平行或是电机振动所致，可利用实验三__特性曲线大致判断叶片的不平行度
4、用电压/频率表2KHz档测得电机转速，转速=频率表显示值÷2实验十七湿敏传感器—湿敏电容实验实验目的
1、观察湿敏电容传感器结构；
2、研究电容值的变化与相对湿度的变化关系实验原理湿敏电容是由以金属微孔蒸发膜为电极组成的高分子薄膜式电容，当水分子通过两端电极被薄膜很快地吸附或释放时，其介电系数也发生相应的变化，通过标定，测得电容值的变化就能得知相对湿度的变化实验所需部件湿敏电容、湿敏传感器实验模块、{公共电路实验模块}、电压表、湿棉球实验步骤
1、连接主机与实验模块电源线及传感器探头，观察湿敏电容探头，电压表接转换电路输出端V
02、打开主机电源，调节模块调零电位器，记录湿敏电容受潮之前的输出电压，如果实验室没有现成的湿度计进行比照，则此实验只能是验证性的实验
3、用棉球沾水并甩去多余水分后，轻轻抹在传感器外罩表面或用嘴对传感器吹气，为使水气饱和可来回多抹几遍，记录V0端输出到达最大值后又回到初始状态时输出电压的时间（吸湿时间和脱湿时间）注意事项传感器切勿浸入水中，也不要将水直接触及元件的感湿部分图为高分子湿敏电容和湿敏电阻的特性曲线湿敏电阻、湿敏电容实验接线（图30）实验十八湿敏传感器——湿敏电阻实验实验原理高分子湿敏电阻主要是使用高分子固体电解质材料作为感湿膜，由于膜中的可动离子产生导电性，随着湿度的增加，电离作用增强，可动离子的浓度增大，电极间电阻减小，反之，电极间的电阻增大，通过测量湿敏电阻值的变化，就可得到相应的湿度值实验所需部件湿敏电阻、公共实验模块
（一）
（二）、{湿敏传感器实验模块、公共电路实验模块}、音频__源、示波器、电压表实验步骤
1、连接主机与实验模块的电源和传感器接口，观察湿敏电阻结构，转换电路输出V0端接电压表
2、开启主机电源，按图
（30）接好测试线路，音频__1KHZ、幅度≦2V，低通滤波器输出端接电压表，示波器接相敏检波器
③端
3、调节电桥WD电位器及移相器，使电压表指示为零，差动放大器增益根据系统输出大小调节
4、轻轻用嘴对湿敏电阻吹气，观察相敏检波器
③端波形及低通滤波器输出电压的变化
5、近距离对传感器呵气，观察系统输出最大时相敏检波器
③端的波形及恢复过程，由此大致判断传感器的吸湿和脱湿时间
6、试将湿敏电阻接入湿敏电容模块做实验三十六内容，{将湿敏电容接入图30电路}比较两种实验结果注意事项给传感器表面不能直接接触水分，不能用硬物碰擦，以免损伤感湿膜激励__必须从音频180°端口接入，__幅度严格限定≦VP-P2V避免用直流__作为激励源，以免传感器被极化实验__气敏传感器演示实验实验目的
1、观察气敏传感器结构；
2、了解气敏传感器的特性实验原理气敏传感器的核心器件是半导体气敏元件，不同的气敏元件对不同的气体敏感度不同，当传感器暴露于便其敏感的气体之中时，电导率会发生变化，当加上激励电压且负载条件确定时，负载电压就会发生相应变化，由此可测得被测气体浓度的变化（图31）实验所需部件气敏传感器（MQ3）、气敏传感器实验模块、酒精、电压表、示波器实验步骤
1、连接主机与实验模块的电源线及传感器接口，观察气敏传感器探头，探头6个管脚中2个是加热电极，另四个接敏感元件，{探头的红线接加热电源，黄线为__输出端}，工作时加热电极应通电二~三分钟温度稳定后传感器才能进入正常工作模块的输出V0端接电压表或示波器，并用电桥调节到一设定值（必要时电桥wD电位器的另一端可接稳压电源的﹢2V档或﹣2V档）
2、开启主机电源，待稳定数分钟后记录初始输出电压值打开酒精瓶盖，瓶口慢慢地接近传感器，用电压表或示波器观察输出电压上升情况，当将气敏传感器最靠近瓶口时电压上升至最高点，超过告警设定电压，电路告警红灯亮
3、移开酒精瓶，传感器输出特性曲线立刻下降，这说明传感器的灵敏度是非常高的注意事项实验时气敏探头勿浸入酒精中，酒精气就足够了+2VR′R－RR″WD－＋V差放R－＋WDR+2V差放电压表PAGE2。
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