文本内容:
中国3000万经理人首选培训网站线切割单晶硅片检验规范
1、目的:为明确产品质量要求,加强产品质量管控,特制订本规范
2、适用范围适用于线切割后单晶硅片125×125和156×156的品质检验
3、主要内容检验项目检验要求检测工具依据GB/T
2828.1-2003一次抽样方案硅片等级成品检验出厂检验A级品B级品外观崩边∕缺口长≤
0.5mm,宽≤
0.3mm,数量≤2个长≤1mm,宽≤1mm,数量≤3个目测全检ⅡAQL
2.5表面粗糙度深度≤15μm无明显可见线痕——目测全检ⅡAQL
2.5波纹无——凹坑硅落
0.5mm——裂痕∕鸦爪无无孔洞无无表面清洁度表面应清洁、无明显色斑或粘污色斑≤30%,不得有粘污尺寸规格(㎜)尺寸游标卡尺万能角规S-ⅡAQL
1.0S-ⅡAQL
1.0边长(㎜)直径(㎜)倒角差(㎜)垂直度(O)MaxMinMaxMin同片异片125×125Ⅰ
125.
5124.
5150.
5149.
50.5190±
0.5125×125Ⅱ
125.
5124.
5165.
5164.
50.5190±
0.5156×156Ⅰ
156.
5155.
5200.
5199.
50.5190±
0.5156×156Ⅱ
156.
5155.
5203.
5202.
50.5190±
0.5156×156Ⅲ
156.
5155.
5195.
5194.
50.5190±
0.5厚度允许偏差±20μm±30μm委外检验总厚度变化≤30μm翘曲度50μm性能导电型号P型P型极性仪按检查水平S-ⅡAQL
1.0抽取样本,检验样本中有1片不合格则判该批产品为不合格电阻率1Ω.cm~3Ω.cm;3Ω.cm~6Ω.cm
0.5Ω.cm~1Ω.cm薄片四探针电阻率测试仪A.检验项目及要求检测环境要求(温度20~28℃,湿度不大于60%)B.判定a.成品检验结果的判定:
①以每根晶棒所切片数为一单位,按表1抽检方案对其进行外观检测,根据检测结果对合格品进行分类包装;
②针对尺寸﹑电阻率﹑导电型号检测时如发现一片不合格,则针对不合格项目进行全检,除去不合格品后按其等级进行包装b.出厂检验结果的判定:抽检判别不合格的批不合格产品,可以针对不合格项目进行全检,除去不合格品后,合格品可以重新组批重新送检的产品,复检时可以只对上次检验不合格项目进行检验判别c.如客户有特殊质量要求时按客户的质量标准为依据
4.包装、储运A.将每一收缩袋装满100片,并用封口机将其封口,标签上注明产品规格、数量、晶体编号;B.每四包硅片装入一包装盒内,两包之间用两片珍珠棉隔开,两端用硬泡沫板、瓦棱板固定;C.用胶带将包装盒封牢顶盖上粘贴标签,注明产品名称、规格、晶体编号、数量、包装日期,加盖检验章;D.将规格相同、性能相似的硅片每六盒装入一纸箱内,用胶带将纸箱封牢外标签上注明产品名称、规格、数量、包装日期,加盖检验章;E.包装箱外侧须印刷有“易碎”、“小心轻放”、“防潮”、等标识,并标明产品名称、规格、数量、生产商名称及地址、毛重、净重等字样;F.每批产品须附产品质保书;G.产品应储存在清洁、干燥的环境中;H.运输过程中应轻装轻卸,防震、防潮、防挤压
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