文本内容:
ZZ-630FAT i•抽气能力极限真空
9.0X10-5Pao从大气抽到极限真空所花费的时间?(Min)大气到8X10-4Pa30min(空载)泄露率
9.0E-5Pa•m3/秒(氨质谱检漏仪)抽气24H后的真空值?极限真空后保压24H的真空值?2X-70旋片泵保养方式?保养时间?换油时间?油位?油品类型?F-400分子泵运行时间?注意事项?
2.镀膜能力附着力测试,提供试镀(样品,材料,检测数据)工艺测试(电子枪镀膜层数?电阻蒸发镀膜层数?)共30层轰击系统(离子轰击)电压3KV功率
1.2KW棒状阴极电子枪蒸发(6址璃)电阻蒸发5KW真空监控系统(真空值稳定性)膜厚监控(数据准确,稳定,真实)SQC-310膜厚自动控制精度?镀膜材料(可适用的镀膜材料包括哪些?)工艺气体(可适用的工艺气体?纯度要求
99.999%流量?压力?)冷却管路防护措施(冷却管路的防腐措施?防茵?防污垢?防藻?)
4.温控效率极限升温(从常温升到放高温的时间?)降温时间(从最高温下降到常温的时间?)
5.设备保养设备常态化保养的部件?保养方式?使用工具?花费耗材?
6.备件清单?
7.随机工具
8.设备说明书,易损件图纸,膜材,电路图纸,工艺安全培训。