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传感器系统综合实验一MPX扩散硅压阻式传感器
一、实验目的了解MPX扩散硅压阻式传感器的工作原理及测量过程二实验原理MPX压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X型的等值电阻组成的电路,它用激光修正,温度补偿,所以线性好,灵敏度高,重复性好,其工作原理及实验接线如下图所示差劲放大器图1图2本实验中所用的压阻式传感器为差压式,无外加压力时电路平衡无输出,受压时则输出与压力大小成正比的电压信号三实验所需部件MPX压力传感器,综合实验台、应变式传感器实验模块、气压源、胶管
四、实验步骤
1.连接主机与实验模块的电源线,然后按图2连接线路,胶管一端连接气源输出口,另一端与传感器输入口连接(传感器另一接口感受大气压力)差动放大器增益调到最大
2.软件参数量程选“10V”档位,电压表量程选“2V”档位
3.开启主机电源,调节电桥平衡电位器旋钮,使电桥输出为零,4,开启气源开关,逐步加大气压,观察随气压上升,输出电压的变化情况
5.待到气压Pg稳定在某一压力值后,关闭气源,按一定间隔逐渐减小气压,输出电压也会发生变化,记录Rkp值与Vmv值并填入下表,同时还可用采集卡采集数据,用计算机绘制曲线
6.在坐标纸上作出Vm「Pkp曲线,并与计算机所绘制的曲线作比较验证传感器的线性度说明气压源因功率限制输出W20kp,亦可用随机附带的加压气囊代替气源,使传感器工作范围扩大到所需压力。