还剩7页未读,继续阅读
文本内容:
半导体显示用高碱浓度负胶显影液范围1本标准规定了半导体显示用高碱浓度负胶显影液的缩略语、技术要求、检验方法、检验规则、标志及包装、运输、贮存和安全事项本标准适用于主要成分为氢氧化钾,碱度大于除水外有效物质含量为的高碱浓度显影液此高8,20-40%碱浓度显影液主要用于半导体制程中负性光刻胶的显影,也可用于薄膜晶体管液晶显示器()或有TFT-LCD机发光二极管显示器)彩膜工艺的光刻胶的显影(OLED氢氧化钾的基本信息见附录的A A.1规范性引用文件2下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本标准,凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件危险货物包装标志GB190化学试剂标准滴定溶液的制备GB/T601化学试剂杂质测定用标准溶液的制备GB/T602化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备GB/T603洁净厂房设计规范GB50073-2013液体化学产品颜色测定法单位——伯-钻色号)GB/T3143(Hazen数值修约规则与极限数值的表示和判定GB/T8170化学试剂包装及标志GB15346-2012化学品安全标签编写规定GB15258常用化学危险品贮存通则GB15603化学试剂密度测定通用方法GB/T611-2021化学试剂值测定通则GB/T9724pH化学试剂电位滴定法通则GB/T9725电子级水GB/T
11446.1表面活性剂非离子表面活性剂浊点指数(水数)的测定容量法GB/T11277-2012化学试剂离子色谱法测定通则GB/T34672化工产品采样总则GB/T6678液体化工产品采样通则GB/T6680电子化学品中颗粒的测试方法SJ/T11638电子工业用显影液中碳酸根离子的测定自动电位滴定法SJ/T11635-2016集成电路用正胶显影液SJ/T11508-2015术语和定义3本文件没有需要界定的术语和定义缩略语4下列缩略语适用于本文件高密度聚乙烯HDPEHigh DensityPolyethylene,技术要求5外观
5.1透明澄清液体色度
5.2半导体显示用高碱浓度负胶显影液的色度不大于单位(伯-钻色号)50Hazen主要成分
5.3半导体显示用高碱浓度负胶显影液的主要化学成分含量应符合表的规定1表主要化学成分含量1%项目指标氢氧化钾的含量
8.38±
0.10理化性能
5.4半导体显示用高碱浓度负胶显影液的理化性能,应符合表的要求2表理化性能2项目要求pH(1%水溶液)
12.5±
0.5密度
1.100±
0.100g/cm3浊点35℃颗粒数
5.5半导体显示用高碱浓度负胶显影液的颗粒数应符合表的规定3表颗粒数3单位为个每毫升项目指标项目指标颗粒
20.5gm数W100注颗粒数的管控指标可由供应商和客户协商决定阴离子杂质含量
5.6半导体显示用高碱浓度负胶显影液的阴离子杂质含量应符合表的规定4表阴离子杂质含量4单位为微克每克项目指标碳酸根CO32含量W
50.0氯离子-含量
1.0注阴离子杂质的管控指标可由供应商与客户协商决定金属杂质含量
5.7半导体显示用高碱浓度负胶显影液的金属杂质含量应符合表的规定5表金属杂质含量5单位为微克每克项目指标银Ag含量W
1.0铝A1含量W
1.0碑As含量W
1.0金Au含量W
1.0硼B含量W
1.0钢Ba含量W
1.0镀Be含量W
1.0例Bi含量W
1.0钙Ca含量W
1.0镉Cd含量W
1.0钻Co含量W
1.0铭Cr含量W
1.0铜Cu含量W
1.0睇Sb含量W
1.0铁Fe含量W
1.0线Ga含量W
1.0汞Hg含量W
1.0项目指标锢In含量W
1.0锂Li含量W
1.0镁Mg含量W
1.0钵Mn含量W
1.0铜Mo含量W
1.0银Ni含量W
1.0铅Pb含量W
1.0伯Pt含量W
1.0锡Sn含量W
1.0锢Sr含量W
1.0钛Ti含量
1.0锐V含量W
1.0锌Zn含量W
1.0注金属杂质的管控指标可由供应商与客户协商决定6检验方法警示
6.1检验方法规定的一些检验过程可能导致危险情况,操作者应采取适当的安全与防护措施一般规定
6.2电子级水应符合规定的电子级水的要求,℃在线电阻率不小于试GB/T
11446.1EW-I2518MQ・cm剂优级纯标准溶液、制剂及制品按照、的规定配制GB/T601GB/T602GB/T603金属杂质含量和颗粒数的测定环境应符合中规定的洁净度等级为级的要求GB50073-20136外观
6.3将样品置于具塞比色管中,在自然光或日光灯下目视检测50mL色度
6.4按的规定进行测试GB/T3143氢氧化钾含量
1.25按的规定进行测试GB/T9725值
1.36pH按的规定,以样品的水溶液进行测试GB/T97241%密度
6.7按的规定进行测试GB/T611-2021浊点
6.8按的规定进行测试GB/T11277-2012颗粒数
6.9按的规定进行测试SJ/T11638阴离子杂质含量
6.10碳酸根离子
6.
10.1按的规定进行测试SJ/T11635-2016氯离子
6.
10.2按的规定进行测试GB/T34672金属杂质含量
6.11按中的规定进行测试SJ/T11508-
20155.6等效说明
6.12允许采用等效检验方法,但出现争议时以本文件规定的方法为基准方法7检验规则出厂检验
7.1出厂检验项目为第章中规定的全部技术要求5组批
7.11以同一生产线、同一批成品罐、同一规格包装容器的产品视为一批;单一槽车灌装产品视为一批采样
7.12抽样方案
7.
3.1成品抽样时,按中的规定确定采样单元数非全部单元采样时,应按分装顺序抽取第一GB/T
66787.6件和最后一件,中间随机抽取(在特殊情况下,取样由供需双方协定)采样
8.
3.2按和的规定进行采样GB/T6678GB/T6680)将产品装入样品容器中,置于中规定的级洁净采样间中a HDPEGB50073-20133016)采样量不少于b800mL)将每个样品平均分装于两个洁净干燥、容积为的瓶中,盖紧瓶盖密封瓶上粘贴标签,c500mL HDPE注明生产厂家名称、产品名称、批号、样品编号、采样日期和采样者姓名一瓶用于检验,另一瓶保存至少个月备查6检验结果判定
9.4每个样品单独检验检验结果按中规定的修约值比较法进行GB/T8170每个样品均符合第章规定的全部要求时,则判定出厂检验合格5任一样品中任一指标不符合第章规定的要求时,应重新对该批产品两倍取样复检,复检结果合格,则5判定出厂检验合格否则判定出厂检验不合格供需双方对产品质量发生争议时,可请仲裁机构检验,并以其结果为准质量证明
7.5每批产品应附有质量证明书,其内容应包括产品名称、制造方名称、地址、电话、生产批号、产品净重、检验结果、检验部门印记、产品生产日期、检验日期、检验人员签名等标志、包装、运输、贮存8标志
10.1产品包装容器上应有清晰牢固的标志,标明产品名称、生产厂名称、厂址、生产批号、生产日期、失效日期、净含量,及规定的“腐蚀品”和“方向标记”标志,符合规定的“皮肤腐蚀、刺激GB190GB15258安全标签规定装
10.2包装采用密封小开口的桶或不锈钢槽车等容器HDPE316输
10.3产品在搬运和运输过程中,应轻拿、轻放,防止破损严禁烈日暴晒和猛烈撞击,严禁与有毒物质混运,防止污染存
10.4产品的贮存应符合的规定,产品应贮存在阴凉、干燥、通风、隔热处,与性质相互抵触的物GB15603质分开存放,并明确标识,避免容器物理性损坏导致产品泄漏远离热源、火源和氧化剂产品保质期至少个月(自生产之日起)6安全9安全警示
9.1具有腐蚀性安全急救措施
9.2产品的安全技术说明参见附录A附录A(资料性)安全技术说明基本信息A.1表给出了氢氧化钾的基本信息A.1表氢氧化钾的基本信息A.1化学式KOH化学品中文名称氢氧化钾CAS号1310-58-3UN编号1813,相对分子质量
56.11中国危险性类别第
8.2类碱性腐蚀品a按2009年国际相对原子质量危险性A.2本品具有刺激性和腐蚀性直接接触可引起皮肤和眼灼伤生产中吸入其烟雾可引起呼吸道刺激和结膜炎,还可引起鼻粘膜溃疡、萎缩及鼻中隔穿孔误服可造成消化道灼伤、粘膜糜烂、出血和休克长时间接触本品溶液可发生湿疹、皮炎、鸡眼状溃疡和皮肤松驰操作/个人防护A.3操作处应装有安全的淋浴室和洗眼处容器不使用时需紧闭产品禁止在裸露光源及明火中操作作业时须带上合适的呼吸器,防腐手套、护目镜及其它防护衣注意不要吸入气体,也不要溅入眼内和衣服上,避免暴露,处理后彻底清洗急救措施A.4眼睛接触A.
4.1立即提起眼睑,用大量流动清水彻底冲洗至少就医30min皮肤接触A.
4.2立即脱掉受污染的衣物,用大量清水或肥皂水清洗患处立即就医15min,吸入A.
4.3立即将人转移至空气新鲜处如果呼吸困难,采取人工给氧不宜采用口对口的给氧方式如果呼吸停止了,通过使用氧气或合适的医用装置,采用人工呼吸急救法就医食入A.
4.4尽快漱口,不可催吐若患者失去意识,不可催吐或喂食任何流体,立即采取医学治疗若患者意志清醒,没有引起呕吐时,给饮杯牛奶或水若患者呕吐,保持其头部低于臀部以减低吸入危险2泄漏/消防措施A.5泄漏措施A.
5.1少量泄漏A.
5.
1.1溢出物可用沙或其他一些吸收物质处理溢出物用干净的铁铲将物品放入干净、干燥的容器中,并加盖盖好然后从溅出的地方移走容器大量泄漏A.
5.
1.2溢出物戴上合适的自我防护设备及惰性的吸收装置,将溢出物装入到一定的容器内,用水冲洗残留物,勿将冲洗物冲入下水道溅出物先远离溅出物,再处理禁止无关人员进入,并进行隔离用大量沙土等进行混合吸收处理物质的回收、有效的处理方法应与国家政府的要求和规章相适应立即通知合适的权威机构消防措施A.
5.2灭火剂A.
5.
2.1耐酒精性泡沫灭火器、二氧化碳灭火器或水特殊危害A.
5.
2.2无灭火注意事项及防护措施A.
5.
2.3消防人员必须穿全身耐酸碱消防服灭火时尽可能将容器从火场移至空旷处,本品不燃消防人员必须佩戴过滤式防毒面具(全面罩)或隔离式呼吸器、穿全身防火防毒服,在上风向灭火喷水保持火场容器冷却,直至灭火结束灭火时尽量切断泄漏源,然后根据着火原因选择适当灭火剂灭火灭火者必须装配上足够的保护装置和正压式的空气呼吸器不可使用火和易爆危险品此物质虽然是不可燃烧的,但是加热后,可能产生有害气体和分解产物水可以用来冷却容器。